Vakuová technologiehraje klíčovou roli v moderní vědě a průmyslu, apovrchová úpravakvalituvakuová komorajako hlavní součást vakuového systému přímo ovlivňuje výkon a spolehlivostvakuový systém. Povrchová úprava vakuových komor by měla nejen zajistit dobrou vzduchotěsnost a odolnost proti korozi, ale také minimalizovat jevy, jako je uvolňování plynu a adsorpce, aby byla zachovánaprostředí s vysokým vakuem.
Běžné metody povrchové úpravy vakuových komor
(1) Čištění
1. Čištění rozpouštědlem
Použijte vhodná organická rozpouštědla, jako je aceton, etanol atd., abyste odstranili nečistoty, jako je mastnota a nečistoty z povrchu vakuové komory. Tato metoda je jednoduchá a snadno proveditelná, ale její účinnost je u některých odolných skvrn omezená.
2. Mytí kyselinou
K odstranění oxidů a rzi z kovových povrchů použijte kyselé roztoky, jako je kyselina chlorovodíková, kyselina sírová atd. Je třeba věnovat pozornost kontrole koncentrace roztoku kyseliny a době ošetření, aby se zabránilo nadměrné korozi.
3. Alkalické mytí
U některých ropných znečišťujících látek může mít alkalické mytí dobrý účinek na odstranění. Mezitím alkalické mytí také pomáhá zlepšit mikrostrukturu kovových povrchů.
,Principy a charakteristiky metod čištění
Čištění rozpouštědly se spoléhá hlavně na rozpouštěcí účinek organických rozpouštědel k odstranění znečišťujících látek; Kyselé mytí a alkalické mytí využívají chemické reakce k odstranění specifických znečišťujících látek. Způsob čištění je jednoduchý na obsluhu, ale mohou nastat případy neúplného čištění.
Broušení
Brokování je proces tváření za studena, který využívá pelety k bombardování povrchu obrobku a implantuje zbytkové tlakové napětí ke zvýšení jeho únavové pevnosti.
Po otryskání se odstraní nečistoty na povrchu obrobku, nedojde k poškození povrchu obrobku a zvětší se plocha. Vzhledem k tomu, že při zpracování nedochází k poškození povrchu obrobku, může přebytečná energie generovaná při zpracování způsobit povrchové zpevnění substrátu obrobku. Použitím vysokorychlostního rotujícího oběžného kola k vyhazování malých ocelových nebo železných kuliček a dopadu na povrch dílů vysokou rychlostí lze odstranit vrstvu oxidu na povrchu dílů.
Pískování
Pískování je proces čištění a zdrsnění povrchu substrátu působením vysokorychlostního proudu písku. Stlačený vzduch se používá jako hnací síla k vytvoření vysokorychlostního paprsku, který stříká materiály (měděná ruda, křemenný písek, diamantový písek, železný písek, hainanský písek) na povrch obrobku, který má být zpracován, což způsobuje změny vzhledu. nebo tvar vnějšího povrchu obrobku.
1. Zabalte těsnicí plochu a řeznou hranu komory, abyste zabránili rozstřikování písku;
2. Pískování komory dle požadavků uživatele (použitím 120 molybdenového písku a 80 molybdenové misky v poměru 2:1)
3. Po nastříkání písku vypláchněte komoru čistou vodou, vysušte vzduchovou pistolí a poté vytřete alkoholem. Nechte ji půl dne přirozeně vyschnout.
mechanické leštění
Mechanické leštění je metoda leštění k získání hladkého povrchu řezáním a plastickou deformací povrchu materiálu pro odstranění konvexních částí po leštění. Obecně se používá ropná tyčinka, vlněný kotouč, brusný papír atd. a hlavní metodou je ruční ovládání. Speciální díly, jako je rotační povrch, mohou používat pomocné nástroje, jako je rotační stůl, a ultra přesné leštění lze použít pro ty, kteří mají vysoké požadavky na kvalitu povrchu. Ultra přesné leštění je použití speciálně navržených brusných nástrojů, které jsou pevně přitlačeny na povrch zpracovávaného obrobku v leštícím roztoku obsahujícím abraziva a podléhají vysokorychlostnímu rotačnímu pohybu. Touto technologií lze dosáhnout drsnosti povrchu Ra0,008 μm, což je nejvyšší mezi různými metodami leštění. Tato metoda se běžně používá pro formy pro optické čočky.
chemické leštění
Chemické leštění je proces, který umožňuje, aby se mikrovyčnívající a konkávní části materiálu přednostně rozpouštěly v chemickém médiu, což má za následek hladký povrch. Hlavní výhodou této metody je, že nevyžaduje složité vybavení, dokáže leštit tvarově složité obrobky, dokáže vyleštit mnoho obrobků současně a má vysokou účinnost. Základním problémem chemického leštění je konfigurace leštícího roztoku. Drsnost povrchu získaná chemickým leštěním je obecně kolem 10 μm.
Elektrolytické leštění
The basic principle of electrolytic polishing is the same as chemical polishing, which relies on selective dissolution of small protrusions on the surface of the material to make the surface smooth. Compared with chemical polishing, it can eliminate the influence of cathodic reactions and achieve better results. The electrochemical polishing process is divided into two steps: (1) macroscopic leveling, dissolution products diffuse into the electrolyte, and the geometric roughness of the material surface decreases, with Ra>1 μm. (2) mikroúrovňové vyrovnání, anodická polarizace a zvýšení jasu povrchu s Ra<1 μ m.
(1) Výrazné zlepšení odolnosti proti korozi povrchu. Díky selektivnímu rozpouštění prvků elektrolytickým leštěním se na povrchu vytvoří hustý a pevný pevný transparentní film bohatý na chrom a vytvoří se ekvipotenciální povrch, čímž se eliminuje a snižuje koroze mikrobaterií.
(2) Mikropovrch po elektrolytickém leštění je hladší a má vyšší odrazivost ve srovnání s mechanickým leštěním.
(3) Elektrolytické leštění není omezeno velikostí a tvarem obrobku. Elektrolytické leštění lze aplikovat na obrobky, které nejsou vhodné pro mechanické leštění, jako jsou vnitřní stěny štíhlých trubek, ohyby, šrouby, matice a vnitřní a vnější stěny nádob.
Zařízení na zpracování milimetrových energetických zrcadel
Jako nový proces leštění má jedinečné výhody při zpracování mnoha typů kovových součástí. Může nahradit tradiční zařízení a procesy pro povrchovou úpravu kovů, jako jsou brusky, válcovací stroje, vyvrtávací a válcovací stroje, honovací stroje, leštičky, pískové pásové stroje atd.; Díky vysoké hladkosti obrábění kovových obrobků je hračka. Haoke umí nejen leštit, ale přináší také mnoho dalších výhod: dokáže zlepšit hladkost povrchu opracovávaného obrobku o více než 3 úrovně (hodnota drsnosti Ra může snadno dosáhnout pod 0.2); A povrchová mikrotvrdost obrobku se zvýší o více než 20 %; A výrazně zlepšila odolnost proti opotřebení povrchu a odolnost proti korozi obrobku. Hooke lze použít ke zpracování různých nerezových a jiných kovových obrobků.
Ultrazvukové leštění
Umístěte obrobek do brusné suspenze a umístěte jej společně do ultrazvukového pole, přičemž se spoléháte na oscilaci ultrazvukových vln pro broušení a leštění brusiva na povrchu obrobku. Ultrazvukové obrábění má nízkou makroskopickou sílu a nezpůsobí deformaci obrobku, ale je obtížné vyrobit a nainstalovat přípravek. Ultrazvukové zpracování lze kombinovat s chemickými nebo elektrochemickými metodami. Na základě koroze roztoku a elektrolýzy se k promíchání roztoku aplikuje ultrazvuková vibrace, která způsobí, že se rozpuštěné produkty na povrchu obrobku oddělí a koroze nebo elektrolyt v blízkosti povrchu jsou jednotné; Kavitační efekt ultrazvuku v kapalině může také potlačit proces koroze a podpořit zjasnění povrchu.
Tekuté leštění
Fluidní leštění se opírá o vysokorychlostní tok kapaliny a jimi nesených abrazivních částic k mytí povrchu obrobku k dosažení účelu leštění. Mezi běžné metody patří obrábění abrazivním paprskem, obrábění kapalinovým paprskem, fluidní dynamické broušení atd. Fluidní dynamické broušení je poháněno hydraulickým tlakem, který způsobuje, že kapalné médium nesoucí abrazivní částice proudí tam a zpět vysokou rychlostí po povrchu obrobku. Médium je vyrobeno převážně ze speciálních směsí (látky podobné polymeru) s dobrou tekutostí při nižších tlacích a smíchané s abrazivem, které může být vyrobeno z prášku karbidu křemíku.
Magnetické broušení a leštění
Magnetické broušení a leštění je proces použití magnetických brusiv k vytvoření brusných kartáčů působením magnetického pole pro broušení a zpracování obrobků. Tato metoda má vysokou efektivitu zpracování, dobrou kvalitu, snadnou kontrolu podmínek zpracování a dobré pracovní podmínky. Použitím vhodných brusiv může drsnost povrchu dosáhnout Ra{{0}}.1 μm. Leštění při zpracování plastových forem je velmi odlišné od povrchového leštění vyžadovaného v jiných průmyslových odvětvích. Přísně vzato by se leštění forem mělo nazývat zrcadlové zpracování. Má nejen vysoké požadavky na samotné leštění, ale má také vysoké nároky na rovinnost povrchu, hladkost a geometrickou přesnost. Leštění povrchu obecně vyžaduje pouze získání lesklého povrchu. Standard pro zrcadlové zpracování je rozdělen do čtyř úrovní: AO=Ra0.008 μm, A1=Ra0,016μm,A{ {8}}Ra0,032μm,A4=Ra0,063μm, Vzhledem k obtížnosti přesné kontroly geometrické přesnosti dílů pomocí metod, jako je elektrolytické leštění a tekuté leštění, a nedostatečné kvalitě povrchu metod, jako jsou chemické leštění, ultrazvukové leštění a magnetické abrazivní leštění, mechanické leštění je stále hlavní metodou pro zrcadlové zpracování přesných forem.
Chemická konverzní úprava
1. Fosfátování
Vytvořte na kovovém povrchu fosfátovací film pro zvýšení odolnosti proti korozi a přilnavosti povlaku.
2. Úprava chromátem
Vytvoření chromátového konverzního filmu může zlepšit odolnost kovů proti korozi, ale jeho použití je omezené kvůli problémům s životním prostředím.
Fosfátování a chromátování vytváří na povrchu pomocí chemických reakcí ochranný film, který zvyšuje odolnost proti korozi. Relativně jednoduché a snadno implementovatelné,
anodická oxidace
Používá se hlavně pro kovy, jako jsou hliníkové slitiny, k vytvoření hustého oxidového filmu na kovovém povrchu, čímž se zlepšuje odolnost proti korozi a tvrdost.
Použití elektrochemických principů pro vytváření oxidových filmů na kovových površích má dobrý výkon, ale je použitelné pouze pro specifické kovy.
Výběr a aplikace metod povrchové úpravy pro vakuové komory jsou klíčové pro výkon vakuových systémů. Výběrem vhodných metod, jako je čištění, pískování, leštění, nátěry a chemická konverzní úprava, lze povrchový výkon vakuových komor účinně zlepšit, aby vyhovoval potřebám různých oblastí a aplikačních scénářů.
V praktických aplikacích je nutné komplexně zvážit různé faktory, vybrat nejvhodnější způsob povrchové úpravy a posílit kontrolu a testování kvality pro zajištění spolehlivosti a stability vakuové komory.
